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電感耦合高頻等離子體光源設(shè)備

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電感耦合高頻等離子體光源設(shè)備簡(jiǎn)介

       高頻等離子體發(fā)生器是通過(guò)高頻發(fā)生器的作用產(chǎn)生高頻振蕩磁場(chǎng),供給等離子體能量。當(dāng)高頻電源與圍繞在等離子炬管外的負(fù)載應(yīng)線圈接通時(shí),高頻感應(yīng)電流流過(guò)線圈,產(chǎn)生軸向高頻磁場(chǎng)。此時(shí)向矩管的外管內(nèi)切線方向通入冷卻氣Ar,中層管內(nèi)軸向(或切向)通入輔助氣體Ar,并用高頻點(diǎn)火裝置引燃,使氣體觸發(fā)產(chǎn)生載流子(離子和電子)。當(dāng)載流子多至足以使氣體具有足夠的導(dǎo)電率時(shí),在垂直于磁場(chǎng)方向的截面上產(chǎn)生環(huán)形渦流電流。幾百安的強(qiáng)大感應(yīng)電流瞬間將氣體加熱至10000K,在管口形成一個(gè)火炬狀的穩(wěn)定的等離子炬。高頻等離子體官員主要用于地質(zhì)、冶金、化工、建材、環(huán)保、醫(yī)藥、食品、科學(xué)試驗(yàn)等領(lǐng)域。

       我公司生產(chǎn)的高頻等離子體光源選用了微機(jī)控制可控硅調(diào)壓裝置。

       該裝置由于采用了等間距觸發(fā)方式,使諧波分量大大降低,既節(jié)能,又減輕了對(duì)電網(wǎng)的污染。同時(shí)該裝置具有線性矯正環(huán)節(jié),使輸出跟蹤給定電位器的變化而變化,使調(diào)整簡(jiǎn)單方便。鎖相分頻電路可使設(shè)備在系統(tǒng)頻率發(fā)生變化時(shí),能自動(dòng)跟蹤電網(wǎng)的變化。本設(shè)備還采用了多重保護(hù)裝置,并具有故障記憶顯示功能,為設(shè)備的維修及故障提供了極大的方便。

       我公司可根據(jù)用戶的需要專門設(shè)計(jì)在特殊領(lǐng)域應(yīng)用的大功率的高頻等離子體發(fā)生器。我公司曾經(jīng)為中國(guó)礦業(yè)大學(xué)、中國(guó)科技大學(xué)、中科院煤化所、中國(guó)科學(xué)院大學(xué)等單位專門設(shè)計(jì)生產(chǎn)了特殊科研應(yīng)用所需的高頻等離子體發(fā)生器。

 

 

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